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半导体材料制造装置
机床事业
T-135NCT-1354NC, T-133, T-1334T-125NC, T-1254NCT-1253, T-1254T-11LT-11JAT-10N17T-10N

T-8252B 固定砂粒多线切割机

Catalog

E-300G-6 HCT-TOYO多线切割机
采用自行开发技术和金刚石砂粒钢线的切割机,显著提高硅片生产能力。

T-8252B是使用金刚石钢线的切割机。该设备融合了本公司独自的技术并充分发挥出固定砂粒的特点。采用将 □156mm×L500mm的硅结晶块上下2层排列2根切割规格。配有钢线导向轴上下左右4根、将1根钢线分成上层用和下层用2个独立的钢线切割层。并且为防止钢线的扭曲及倾斜走线,安装有绕线轴、滑轮、高功率电机等装置。与旧机型相比较生产能力提高2倍,毎分种1mm高速切割时,可实现TTV10μm以下的高精度加工,是一种成品率可达98%以上的新一代多线切割机。

主要规格    
  T-8252B 
安装 ( 长 × 宽 × 高 ) mm 1,860 × 3,855 × 3,150
最大原料(结晶块)尺寸 mm 156
钢线导向轴数 4
最大原料(结晶块)长度 mm 500 × 2 ( 上下2段 )
最大钢线移动速度 m/分 1,200


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