φ４インチのサファイアインゴットを６時間で切断
-サファイア・SiC・ＧａＮ用ダイヤモンドワイヤーカッティングマシーン「T-8331A」を開発-

◆高生産性

高負荷時でもワイヤーの高速走行が可能であり、φ４インチのサファイアインゴットを６時間で切断（φ６インチの場合は１２時間）。これは従来機の半分の切断時間であり、２倍の生産性を発揮する。
・難削材を効率的に切断するワイヤーガイド揺動機構を新採用した。揺動角度は±１０°、揺動速度は最大１,０８０°／分。
・揺動機構はコラムに一体化させることで高剛性化を図っており、高負荷切断が可能となった。
・ワイヤーガイド軸間距離を最小・最適化することで、ワイヤーの撓み、振れを抑制している。
・２軸あるワイヤーガイドは、それぞれ独立した高出力サーボモーターで駆動。ワイヤー速度１,２００ｍ／分の高速切断、加減速時間１.５秒での高速往復切断を実現している。

◆高精度加工

高負荷・高速切断時のワイヤーの挙動を制御するなど、インゴットを高精度で切断する。φ４インチのサファイアの場合で、切断後のウエーハの精度はTTV１０μｍ（φ６インチの場合は１５μｍ）、BOW１０μｍ（同２０μｍ以下）を実現している。
・ワイヤーガイド軸間距離を４４０ｍｍに設定した。切断時のワイヤーの撓みを５ｍｍ以下、振れを５μｍ以下に抑制している。
・ワイヤーの張力を制御することで、切断位置での高張力を維持している。
・切断テーブルに、インゴットの結晶方位に合わせて方向を調整するゴニオ装置を装備した。
・ワイヤーガイド軸の長手方向中心位置に、インゴット、ゴニオ装置、テーブルガイドの各中心位置を揃えたセンターレイアウトを採用している。

◆低ランニングコスト

ワイヤーにむだなストレスをかけない切断などにより、φ４インチのサファイアの場合、ワイヤー使用量は１５ｍ／枚以下（φ６インチの場合は４０ｍ／枚以下）の低ランニングコストを実現した。
・ワイヤーが斜行したり引っ掛かったりしない、ねじれフリーワイヤーマネージメントを採用。ワイヤーの断線発生率やダイヤモンドの脱落・摩耗を低減する。
・テーブル（切り込み）位置に応じ、様々な加工条件が設定できる可変プロファイル制御を採用。切断位置によってワイヤー速度、クーラント流量、揺動角度、ワイヤー新線供給量などを変えることで、高生産性、高精度加工、低ランニングコストを高いレベルで実現している。