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半導体・太陽電池製造装置
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T-8252B 固定砥粒ワイヤーカッティングマシン

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T-8252B 固定砥粒ワイヤーカッティングマシン
ソーラー用ウェーハ対応。固定砥粒ワイヤー、セパレートワイヤーウェブによる高精度・高歩留まり・高生産性マシン。

Ｔ-8252Ｂはダイヤモンドワイヤーの使用を前提に新規開発したワイヤーカッティングマシーンであり、固定砥粒の特長を最大限に引き出す独自技術を随所に配しています。□156mm×Ｌ500mmのシリコンインゴットを上下2段に配列できる2本切り仕様としました。ワイヤーガイドを上下左右に4本配し、1本のワイヤーを上段用と下段用に独立するかたちで巻き掛けて2つのウェブを形成する独自のセパレートワイヤーウェブ方式を採用しました。さらに、ワイヤーがねじれたり斜行したりしないようにボビンやプーリーを配置するとともに高出力モーターを搭載するなど、従来のワイヤーカッティングマシーンと比較して2倍以上の高生産性や、毎分1mmの高速切断時でもＴＴＶ10μm以下の高精度かつ98％以上の高歩留まりを実現した、次世代のワイヤーカッティングマシーンです。　
 
主な仕様    
  T-8252B 
据付寸法　（間口×奥行×高さ） mm 1,860×3,855×3,150
最大インゴット寸法 mm □156
ワイヤーガイド軸数 本 4
最大インゴット長さ mm 500×2　（上下2段）
最大ワイヤー走行速度 m/分 1,200


 
 
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